潔凈室（區(qū)）潔凈度的測(cè)試；

　　電子廠、藥廠潔凈室的日常維護(hù)監(jiān)測(cè)；

　　高濃度氣溶膠的測(cè)量；

　　空氣中懸浮粒子的測(cè)量。

　　集成電路制造業(yè)是需要在一個(gè)超凈環(huán)境中進(jìn)行的，它是使用超純材料進(jìn)行超精細(xì)加工的行業(yè)。集成電路制造對(duì)潔凈室環(huán)境的控制有嚴(yán)格的要求，不同的工藝對(duì)清潔度有不同的要求。

　　半導(dǎo)體集成電路在生產(chǎn)過(guò)程中會(huì)接觸到很多污染物，比如無(wú)機(jī)離子、有機(jī)物質(zhì)、微生物、氣體雜質(zhì)等等。另外，不適當(dāng)?shù)臏囟取穸?、光照、靜電超標(biāo)、電磁噪聲、空氣噪聲和微振動(dòng)也是特殊的污染物。當(dāng)顆粒雜質(zhì)、無(wú)機(jī)離子、有機(jī)物質(zhì)、微生物和氣體雜質(zhì)的含量超過(guò)一定限度時(shí)，集成電路產(chǎn)品會(huì)出現(xiàn)表面劃傷、圖形斷裂、短路、針孔、脫皮等現(xiàn)象。導(dǎo)致電路泄漏和異常電氣特性，輕則影響電路性能和使用壽命，重則導(dǎo)致電路報(bào)廢。

　　鑒于此需要使用激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器來(lái)對(duì)半導(dǎo)體集成電路生產(chǎn)車間的環(huán)境進(jìn)行監(jiān)測(cè)，保證產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境達(dá)到潔凈標(biāo)準(zhǔn)，塵埃粒子計(jì)數(shù)器配置簡(jiǎn)單，可從一個(gè)儀器轉(zhuǎn)移到另一個(gè)儀器，易于清潔和擦拭與小的粒子陷阱，多功能安裝選項(xiàng)，無(wú)縫集成到設(shè)備監(jiān)控系統(tǒng)。